Uruhare rwa sulfur hexafluoride muri nitride ya silicon

Sulfure hexafluoride ni gaze ifite imiterere ihebuje kandi ikunze gukoreshwa mu kuzimya amashanyarazi menshi ya arc kuzimya no guhinduranya, imirongo ikwirakwiza amashanyarazi menshi, imashini zihindura, n'ibindi. . Icyiciro cya elegitoroniki cyinshi-cyera sulfure hexafluoride nicyiza cyiza cya elegitoroniki, gikoreshwa cyane mubijyanye na tekinoroji ya mikorobe. Uyu munsi, Niu Ruide umwanditsi mukuru wa gazi Yueyue azamenyekanisha ikoreshwa rya sulfur hexafluoride muri nitride ya silicon nitrike ningaruka zibipimo bitandukanye.

Turaganira kuri plasma ya SF6 etching ya SiNx, harimo guhindura ingufu za plasma, igipimo cya gaze ya SF6 / He no kongeramo gaze ya cationic O2, tukaganira ku ngaruka zayo ku gipimo cy’ibiti byo kurinda ibice bya SiNx byo kurinda TFT, no gukoresha imirasire ya plasma The spectrometer isesengura impinduka ziterwa na buri bwoko muri plasma ya SF6 / He, SF6 / He / O2 nigipimo cyo gutandukana kwa SF6, ikanasuzuma isano iri hagati yimihindagurikire yikigereranyo cya SiNx hamwe nubwoko bwa plasma.

Ubushakashatsi bwerekanye ko iyo imbaraga za plasma ziyongereye, igipimo cyo kwiyongera cyiyongera; niba umuvuduko wa SF6 muri plasma wiyongereye, kwibanda kwa F atom byiyongera kandi bifitanye isano neza nigipimo cyo kuribwa. Mubyongeyeho, nyuma yo kongeramo gaze ya cationic O2 munsi yikigereranyo cyagenwe cyagenwe, bizagira ingaruka zo kongera igipimo cyo gutembera, ariko mugihe cyimibare itandukanye ya O2 / SF6, hazabaho uburyo butandukanye bwo kubyitwaramo, bushobora kugabanywamo ibice bitatu :. . ariko icyarimwe, O atom muri plasma nayo iriyongera kandi Biroroshye gukora SiOx cyangwa SiNxO (yx) hamwe na firime ya SiNx, kandi uko O atom nyinshi ziyongera, niko atome F izagora kuri U reaction. Kubwibyo, igipimo cyo guterana gitangira kugenda gahoro mugihe igipimo cya O2 / SF6 cyegereye 1. (3) Iyo igipimo cya O2 / SF6 kirenze 1, igipimo cyo kugabanuka kiragabanuka. Bitewe no kwiyongera kwinshi muri O2, atome F yatandukanijwe na O2 nuburyo bwa OF, bigabanya ubukana bwa atome F, bigatuma igabanuka ryikigero. Birashobora kugaragara muri ibi ko iyo O2 yongeyeho, igipimo cyo gutemba cya O2 / SF6 kiri hagati ya 0.2 na 0.8, kandi igipimo cyiza cyo kuribwa gishobora kuboneka.