Uruhare rwa hexafluoride ya sulfur mu gushushanya nitride ya silicon

Hexafluoride ya sulfure ni gaze ifite ubushobozi bwiza bwo kwirinda ubushyuhe kandi ikunze gukoreshwa mu kuzimya imirasire na transformateur bifite ingufu nyinshi, imiyoboro yo kohereza amashanyarazi menshi, transformateur, nibindi. Icyakora, uretse izi nshingano, hexafluoride ya sulfure ishobora no gukoreshwa nk'icyuma gikoresha ikoranabuhanga. Hexafluoride ya sulfure ifite ingufu nyinshi ni icyuma gikoresha ikoranabuhanga cyiza, gikoreshwa cyane mu ikoranabuhanga rya microelectronics. Uyu munsi, umwanditsi w’igaze wihariye wa Niu Ruide Yueyue azashyira ahagaragara ikoreshwa rya hexafluoride ya sulfure mu gukata nitride ya silicon no kugira ingaruka ku bipimo bitandukanye.

Turaganira ku buryo bwo gupima SiNx mu maraso ya SF6, harimo guhindura imbaraga za plasma, igipimo cya gaze cya SF6/He no kongeramo gaze ya cationic O2, tuganirira ku ngaruka igira ku gipimo cyo gupima cya SiNx cy’uburinzi bwa TFT, no gukoresha imirasire ya plasma. Spektrometer isesengura impinduka z’ubwinshi bwa buri bwoko muri plasma ya SF6/He, SF6/He/O2 n’igipimo cyo kwitandukanya kwa SF6, kandi tugasuzuma isano iri hagati y’impinduka z’igipimo cyo gupima SiNx n’ubwinshi bw’ubwoko bwa plasma.

Ubushakashatsi bwagaragaje ko iyo imbaraga za plasma ziyongereye, igipimo cyo gushonga kiriyongera; iyo igipimo cyo gutembera cya SF6 muri plasma cyiyongereye, igipimo cya atome ya F kiriyongera kandi gifitanye isano ryiza n'igipimo cyo gushonga. Byongeye kandi, nyuma yo kongeramo gaze ya cationic O2 munsi y'igipimo cy'umuvuduko uhoraho, bizagira ingaruka zo kongera igipimo cyo gushonga, ariko munsi y'ibipimo bitandukanye by'umuvuduko wa O2/SF6, hazabaho uburyo butandukanye bwo gukora, bushobora kugabanywamo ibice bitatu: (1) Igipimo cy'umuvuduko wa O2/SF6 ni gito cyane, O2 ishobora gufasha kwitandukanya kwa SF6, kandi igipimo cyo gushonga muri iki gihe kiba kinini kurusha iyo O2 idashyizwemo. (2) Iyo igipimo cy'umuvuduko wa O2/SF6 kiri hejuru ya 0.2 kugeza ku gihe cyegera 1, muri iki gihe, bitewe n'ubwinshi bw'itandukaniro rya SF6 kugira ngo habeho atome za F, igipimo cyo gushonga kiba kiri hejuru cyane; Ariko icyarimwe, atome za O muri plasma nazo zirimo kwiyongera kandi biroroshye gukora SiOx cyangwa SiNxO(yx) hamwe n'ubuso bwa SiNx film, kandi uko atome za O ziyongera, niko atome za F zirushaho kugorana mu gukora etching reaction. Kubwibyo, igipimo cyo etching gitangira kugabanuka iyo igipimo cya O2/SF6 kiri hafi ya 1. (3) Iyo igipimo cya O2/SF6 kirenze 1, igipimo cyo etching kiragabanuka. Bitewe n'ubwiyongere bunini bwa O2, atome za F zitandukanijwe zihura na O2 na OF, ibi bigabanya ubwinshi bwa atome za F, bigatuma igipimo cyo etching kigabanuka. Ibi bigaragara muri ibi ko iyo O2 yongewemo, igipimo cyo gutembera cya O2/SF6 kiri hagati ya 0.2 na 0.8, kandi igipimo cyiza cyo etching gishobora kuboneka.