Uruhare rwa sulfur hexafluoride muri nitride ya silicon

Sulfure hexafluoride ni gaze ifite imiterere ihebuje kandi ikunze gukoreshwa mu kuzimya amashanyarazi menshi ya arc kuzimya no guhindura, imirongo ikwirakwiza amashanyarazi menshi, imashini zihindura, n'ibindi. Icyiciro cya elegitoroniki cyinshi-cyera sulfure hexafluoride nicyiza cyiza cya elegitoroniki, gikoreshwa cyane mubijyanye na tekinoroji ya mikorobe. Uyu munsi, Niu Ruide umwanditsi mukuru wa gazi Yueyue azamenyekanisha ikoreshwa rya sulfur hexafluoride muri nitride ya silicon nitrike ningaruka zibipimo bitandukanye.

Turaganira kuri plasma ya SF6 etching ya SiNx, harimo guhindura ingufu za plasma, igipimo cya gaze ya SF6 / He no kongeramo gaze ya cationic O2, tukaganira ku ngaruka zayo ku gipimo cy’imiterere y’urwego rwo kurinda ibintu bya SiNx ya TFT, no gukoresha imirasire ya plasma Sprometrometero isesengura impinduka z’imiterere ya buri bwoko muri SF6 / He, SF6 / He / O2 plasma hamwe n’igipimo cy’imiterere ya plasma na SF6.

Ubushakashatsi bwerekanye ko iyo imbaraga za plasma ziyongereye, igipimo cyo kwiyongera cyiyongera; niba umuvuduko wa SF6 muri plasma wiyongereye, kwibanda kwa F atom byiyongera kandi bifitanye isano neza nigipimo cyo kuribwa. Byongeye kandi, nyuma yo kongeramo gaze ya cationic O2 munsi yikigereranyo cyagenwe cyagenwe, bizagira ingaruka zo kongera igipimo cyo gutembera, ariko mugihe cyimibare itandukanye ya O2 / SF6, hazabaho uburyo butandukanye bwo kubyitwaramo, bushobora kugabanywamo ibice bitatu: (1) Umubare wa O2 / SF6 utemba ni muto cyane, O2 irashobora gufasha gutandukana kwa SF6, kandi igipimo cyo guterana muri iki gihe ntikiri kinini mugihe O2 itarenze iyo O2 muriki gihe ntabwo ari kinini. . ariko icyarimwe, O atom muri plasma nayo iriyongera kandi Biroroshye gukora SiOx cyangwa SiNxO (yx) hamwe na firime ya SiNx, kandi uko O atom nyinshi ziyongera, niko atome F izagora cyane kuri reaction. Kubwibyo, igipimo cyo guterana gitangira kugenda gahoro mugihe igipimo cya O2 / SF6 cyegereye 1. (3) Iyo igipimo cya O2 / SF6 kirenze 1, igipimo cyo kugabanuka kiragabanuka. Bitewe n'ubwiyongere bukabije bwa O2, atome F itandukanijwe na F2 ihura na O2 nuburyo bwa OF, bigabanya ubukana bwa atome F, bigatuma igabanuka ryikigero. Birashobora kugaragara muri ibi ko iyo O2 yongeyeho, igipimo cyo gutemba cya O2 / SF6 kiri hagati ya 0.2 na 0.8, kandi igipimo cyiza cyo kuribwa gishobora kuboneka.